国标标准:GB/T 32495《表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法》

国标标准:GB/T 32495《表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法》

发布商家
深圳市中拓检测有限公司
联系人
罗卓文(先生)
职位
检测工程师
电话
17324413130
手机
17324413130
测试周期
5-7天
寄样地址
深圳宝安
价格费用
电话详谈
国家标准编号          实施日期
GB/T 32495-2016表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法2017/1/1

本标准详细规定了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中砷进行深度剖析的方法,以及用触针式轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。本标准适用于砷原子浓度范围从1×1016atoms/cm3~2.5×1021atoms/cm3的单晶硅、多晶硅、非晶硅样品,坑深在50nm及以上。

 

人气
138
发布时间
2023-11-27 02:36
所属行业
检测认证
编号
40423205
我公司的其他供应信息
相关化学分析产品
拨打电话 请卖家联系我