小型干式真空泵　DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500

排气速度　50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3种产品■ 极限压力　DSP50：20Pa、DSP250 ⁄ 500：0.5Pa■ 洁净排气　没有油蒸气，粒子的逆流■ 无润滑油　无同步齿轮，也不需要润滑油■ 携带方便　小型，轻量，抗外部干扰■ 空冷规格　不需要冷却水■ 初期排气时间短　大气压附近排气速度快■ 节能　低消费电力設計用途・SEM，光刻・医疗设备・装载室，搬送室排气・分析仪器・加速器，离子源，电子枪的排气・一般产业・PVD ・R&D规格外观尺寸表性能曲线型　号DSP50DSP250DSP500排气速度(L/min)大50230500开放气镇时36200430极限压力(Pa)通常200.5开放气镇时2002.0连接形式吸气口KF16KF25KF40排气口Rc1KF25所需电力(W)极限压力时230240270大380600电源电压（V）100-240100-230频率（Hz）50/60相数单相容许变动电压±10%冷却方式空冷重量（kg）91520