X射线源 高压脉冲发生器修理X光管高频高压脉冲电源GP-01维修,公司为半导体工厂,液晶面板工厂等提AE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SEREN ANELVA COMDEL等各品牌射频电源、直流电源、匹配器、RPS及各类半导体设备维修。
电源维修范围:AE电源维修,美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修,AE电镀电源维修,AE射频电源维修,电镀高频电源维修,刻蚀射频电源维修,RE射频电源维修,PECVD射频电源维修,大功率工业电源维修,UPS电源维修等各行业工业用电源维修
射频电源设备维修:刻蚀,RIE,PECVD,ICP,射频溅射,CVD和PVD等系统
凡经本公司维修过的设备均使用原装器件跟换其稳定性,修复过的设备经过本公司的测试平台带负载测试,电路板的关键部位均做绝缘喷漆处理,电路上老化的元器件(滤波电容,散热器,风扇等)均跟换或重新做散热处理,设备使用中的稳定性与可靠性。
RF Generator射频电源维修和配套直流电源
1、AE(ADVANCED ENERGY) 2、RFPP射频电源 3、MKS/ENI射频电源 4、AD-TEC射频电源 5、COMDEL射频电源 6、DAIHEN射频电源7、HUTTINGER射频电源8、KYOSAN射频电源9、SEREN射频电源10、VEECO射频电源11、NP射频电源
RF MATCH(射频电源匹配)1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配2、ASTEX射频电源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射频电源匹配
4、ASTECH射频电源匹配5、SEREN射频电源匹配6、LAM射频电源匹配7、KYOSAN射频电源匹配8、ENI射频电源匹配9、DAIHEN射频电源匹配10、AMAT射频电源匹配11、TRAZAR射频电源匹配
高压电源
1、HiTek Power supply高压电源 2、ADVANCE HIVOLT高压电源 3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源
4、GLASSMAN高压电源 5、SPELLMAN高压电源 6、Varian高压电源 7、其他品牌
直流电源
1、LAMDBA ESS/EMI直流电2、Delta ELEKTRONIKA直流电源3、SORENSEN直流电 4、AMETEK可编程电源5、POWER TEN直流电源
6、灯丝电源、X射线电源7、曝光灯电源USHIO( Mercury lamp power supply)