MEMS三轴电容加速度传感器

MEMS三轴电容加速度传感器

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西安慧沣测控技术有限公司
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周斌(先生)
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经理
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价格
¥1.00/件
品牌
FH西安方恒
量程
1-200g
精度
0.1%
工作温度
-40~120℃
起订
1件
供应
100件
发货
3天内


 

  FT1000SA三轴电容传感器由MEMS加速度计及调理电路组成,MEMS传感器是由一个体硅微加工工艺制成的硅元件,一个低功耗ASIC专用信号处理器和一个存储补偿值得微处理器等元件组成。它具有高稳定性,低噪声,低偏置和低温度系数比例。该电容传感器测量的加速度信号,传感器内装调理电路由滤波及电源变换组成。将加速度信号(±20g)变换为标准的电压信号输出。

 它有如下特点:

Ø  ·抗振、耐冲击、过载能力强

Ø  ·高稳定性

Ø  ·低噪声

Ø  ·大带宽

1.     工作原理

2.1 原理

传感器原理如图(1)在感受到加速度作用时,在惯性力作用下,检测质量块运动,使动极板两侧的电容发生变化。经激励正弦波信号调制,由电容检测器检出。该信号经交流放大器放大,检波和适当的校补反馈到中间极板,由其在电容极板间产生静电力,此静电力的力矩使检测质量块保持在零位。它与加速度作用所引入的力矩大小相等,方向相反。这就表明加速度值与电压成正比,这就意味传感器输出线性地反映了其感受的加速度。

2.2内装电路

内装电路是由滤波,电源变换组成。

2.   性能指标及结构特征

2.1.    测量范围:      ±20g

2.2.    测试频率范围: 0- 300HZ(±5%

                        500HZ(-3dB) 

3.3.    灵敏度:        100mV/g

3.4.    非线性:     ≤1% F.S

3.5.    工作温度:  -40℃~+80

3.6.    供电电压: (9-15)VDC

3.7.    供电电流:  ≤10mA

  3.8.    零位输出: (2.5±0.1)VDC

3.9.   输出电压:   ±2V

3.10.   极性:   按箭头方向振动时,输出为正。

3.11.   输出阻抗: ≤100Ω

3.12.   总重量不大于15g

3.13.   电缆长度:  约 3mm

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 


人气
24
发布时间
2024-11-21 17:53
所属行业
加速度传感器
编号
41332517
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