高纯IGZO氧化铟镓锌靶材 磁控溅射 PVD真空镀膜靶材 颗粒 纯度99.99% 科研实验材料 尺寸定制 背板绑定服务
IGZO靶材中的IGZO是指氧化铟镓锌(Indium Gallium Zinc Oxide),它是一种由铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)和氧(O)组成的氧化物材料
一、IGZO简述:
IGZO靶材中的IGZO,全称为氧化铟镓锌(Indium Gallium Zinc Oxide),是一种由铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)和氧(O)组成的非晶氧化物半导体材料。IGZO靶材作为新型氧化物有源层材料,在高性能TFT(薄膜晶体管)器件制备中扮演着重要角色。其独特的材料特性和广泛的应用优势,使其成为半导体材料领域的一颗璀璨明星。我司专注研发与生产,铸就行业精品。公司生产氧化物靶材材料如下:
OXIDES 氧化物 | |
Aluminum Oxide (Al2O3) | Magnesium Oxide (MgO) |
Antimony Oxide (Sb2O3) | Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3) |
Barium Titanate (BaTiO3) | Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3) |
Bismuth Oxide (Bi2O3) | Molybdenum Oxide (MoO3) |
Bismuth Titanate (Bi2Ti4O11) | Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4) |
Cerium Oxide (CeO2) | Nickel-Cobalt Oxide(NiCoO2) |
Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4) | Niobium Pentoxide (Nb2O5) |
Chromium Oxide (Cr2O3) | Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3 |
Chromium Oxide (Eu doped) | Rare Earth Oxides (La2O3) |
Gallium Oxide (Ga2O3) | Silicon Dioxide (SiO2) |
Germanium Oxide (GeO3) | Silicon Monoxide (SiO) |
Hafnium Oxide (HfO2) | Tantalum Pentoxide (Ta2O5) |
Indium Oxide (In2O3) | Tin Oxide (SnO2) |
Indium-Tin Oxide (ITO) | Titanium Dioxide (TiO2) |
Iron Oxide (Fe2O3) | Tungsten Oxide (WO3) |
Lanthanum Oxide(La2O3) | Yttrium Oxide (Y2O3) |
Lead Titanate(PbTiO3) | Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12) |
Lead Zirconate (ZrPbO3) | Zinc Oxide (ZnO) |
Lithium Niobate (LiNbO3) | Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3) |
Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2) | Zirconium Oxide (ZrO2) |
二、材料特性:
IGZO靶材的纯度通常高达99.99%(即4N+),这意味着其内部杂质含量极低,从而保证了材料的高质量和稳定性。高纯度是IGZO靶材在高性能电子器件中应用的基础,它确保了器件的可靠性和长寿命。此外,IGZO靶材的密度也相对较高,一般不低于6.30g/cm³,这为其在制备过程中提供了良好的致密性和结构稳定性。至于熔点,IGZO靶材中的各个组成氧化物熔点不同,但整体而言,IGZO材料具有较高的热稳定性,能够承受较高的温度而不发生显著的结构变化。
三、行业应用:
1、IGZO材料在半导体行业中展现出了一系列显著的应用优势。首先,IGZO具有优异的电子迁移率,其载流子迁移率是非晶硅的20~30倍。这一特性使得IGZO在制备高性能TFT器件时,能够实现更快的信号传输速度和更高的工作效率。其次,IGZO的能耗较低,响应时间短,这使得它在显示驱动领域具有得天独厚的优势。无论是LCD显示驱动还是OLED显示驱动,IGZO都能提供出色的显示效果和能效比。此外,IGZO还具有良好的柔性,可以应用于柔性显示屏的制备,为未来的可穿戴设备和便携式电子产品提供了更多的可能性。
2、在显示驱动应用领域,IGZO靶材已被夏普、三星、LG等知名公司开发并投入市场。基于IGZO TFT驱动的显示面板已被广泛应用于笔记本电脑、游戏笔记本电脑以及平板电脑等产品中。例如,戴尔的Dell XPS 13笔记本电脑、Razer的Razer Blade 14游戏笔记本电脑以及苹果的iPad mini 2和iPad Air都采用了IGZO技术。这些产品凭借出色的显示效果和能效比,赢得了消费者的广泛好评。
3、除了显示驱动领域,IGZO靶材还在传感应用和类脑系统等领域展现出巨大的潜力。在传感应用方面,IGZO可以作为光电探测器、压力传感器、pH传感器、气体传感器以及柔性传感器的材料,为物联网和智能家居等领域提供高性能的传感元件。在类脑系统方面,IGZO可以作为DRAM、RRAM等忆阻器的沟道材料,为神经形态计算和人工智能等领域提供新的解决方案。
4、此外,IGZO靶材的制备方法也多种多样,其中磁控溅射法和原子层化学气相沉积(ALCVD)是现阶段大规模制造中常用的方法。这些方法能够**地控制IGZO靶材的元素配比和氧含量,从而优化其电学性能和稳定性。通过调整IGZO的元素比和成膜过程中的氧含量,可以进一步提升有源层的特性,保证生产节拍的同时提升器件的稳定性。
****,IGZO靶材作为一种特性独特的材料,在半导体行业中展现出了广泛的应用前景和巨大的市场潜力。随着技术的不断进步和市场的不断拓展,IGZO靶材有望在更多领域实现突破和创新,为人类社会的科技进步和产业发展做出更大的贡献。