氧化锌(ZnO)靶材
氧化锌(ZnO)靶材作为一种高性能的磁控溅射靶材材料,在科学研究和工业应用中占据着重要地位。氧化锌是一种白色粉末,属于二元金属氧化物,具有显著的化学稳定性和多功能性质。以下是对氧化锌靶材的基本介绍、物理性能及其在行业中的应用优势的详细阐述。我司深耕靶材领域十年,专注技术研发与生产,铸就行业精品。公司生产氧化物靶材材料如下:
OXIDES 氧化物 | |
Aluminum Oxide (Al2O3) | Magnesium Oxide (MgO) |
Antimony Oxide (Sb2O3) | Zirconium-Magnesium Oxide(ZrMgO3) |
Barium Titanate (BaTiO3) | Magnesium-Zirconium Oxide (MgZrO3) |
Bismuth Oxide (Bi2O3) | Molybdenum Oxide (MoO3) |
Bismuth Titanate (Bi2Ti4O11) | Nickel-Chrome Oxide (CrNiO4) |
Cerium Oxide (CeO2) | Nickel-Cobalt Oxide(NiCoO2) |
Cobalt-Chrome Oxide (CoCr2O4) | Niobium Pentoxide (Nb2O5) |
Chromium Oxide (Cr2O3) | Rare Earth Garnets A3B2(SiO4)3 |
Chromium Oxide (Eu doped) | Rare Earth Oxides (La2O3) |
Gallium Oxide (Ga2O3) | Silicon Dioxide (SiO2) |
Germanium Oxide (GeO3) | Silicon Monoxide (SiO) |
Hafnium Oxide (HfO2) | Tantalum Pentoxide (Ta2O5) |
Indium Oxide (In2O3) | Tin Oxide (SnO2) |
Indium-Tin Oxide (ITO) | Titanium Dioxide (TiO2) |
Iron Oxide (Fe2O3) | Tungsten Oxide (WO3) |
Lanthanum Oxide(La2O3) | Yttrium Oxide (Y2O3) |
Lead Titanate(PbTiO3) | Yttrium-Aluminum Oxide (Y3Al5O12) |
Lead Zirconate (ZrPbO3) | Zinc Oxide (ZnO) |
Lithium Niobate (LiNbO3) | Zinc Oxide/Aluminum Oxide (Al2O3) |
Lithium-Cobalt Oxide (CoLiO2) | Zirconium Oxide (ZrO2) |
1、氧化锌靶材以其高纯度和化学稳定性著称,能够在极端环境下保持化学组成不变,这是高质量薄膜制备的基础。通常,氧化锌靶材的纯度要求极高,例如99.99%或更高,因为杂质的存在会影响最终薄膜的电学和光学性质。高纯度原料的选用是保证最终靶材质量的首要步骤。
2、在物理性能方面,氧化锌靶材的密度约为5.6g/cm³,熔点高达1975°C,沸点为2360°C。其分子式为OZn,分子量为81.408,具有独特的理化性质。氧化锌是一种难溶于水的物质,但可以溶于酸和强碱,表现出两性氧化物的特性。在空气中,氧化锌会吸收二氧化碳和水,生成碳酸锌而呈现黄色,加热时变黄,冷却后又恢复白色。
3、氧化锌靶材之所以能在磁控溅射技术中得到广泛应用,主要得益于其优良的物理特性。首先,氧化锌靶材具有良好的晶格结构稳定性,这保证了在溅射或蒸发过程中能够稳定地提供原子。其次,较高的热导率使得氧化锌在热处理过程中能够有效地分散热量,减少热应力,这对于保持靶材结构的完整性至关重要。再者,氧化锌作为n型半导体,具有宽带隙和高电子迁移率,使其在制造高效率半导体器件中具有显著优势。此外,氧化锌还展现出独特的透明导电性,能同时传递光线和电流,这一特性使其在液晶显示器和太阳能电池领域具有重要应用。
4、在磁控溅射过程中,氧化锌靶材能够提供高效且均匀的材料源,确保在基底上形成的薄膜具有优异的质量和一致性。选择氧化锌作为靶材,主要是基于它的独特化学稳定性和优良的物理特性,这些特性使得它在制造过程中能够承受高能量的沉积环境,同时保持其化学纯度和结构完整性。
5、氧化锌靶材在多个行业中具有广泛的应用优势。在光学显示技术领域,氧化锌靶材用于制造透明导电膜,提高液晶显示器(LCD)和有机发光二极管(OLED)屏幕的清晰度和响应速度。在LED照明技术中,氧化锌靶材因其优异的光学特性得到广泛应用,特别是在提高光效和色温调节方面。在光伏材料领域,氧化锌靶材作为半导体材料使用,增强了太阳能电池的光吸收能力和转换效率。此外,氧化锌靶材还被用于制造气体传感器和生物传感器,在环境监测和医疗健康领域显示出极大的潜力。
6、在制造过程中,氧化锌靶材需要经过多个关键步骤,包括原料的预处理、粉末的合成、粉末成型、烧结以及退火处理等。这些步骤对于获得高质量、高性能的靶材至关重要。特别是烧结过程,需要在高温下进行,以增强靶材的结构密实度和机械强度。同时,烧结温度和时间的**控制对最终产品的质量至关重要。
总的来说,氧化锌靶材以其高纯度、高化学稳定性、优良的物理特性以及广泛的应用优势,在磁控溅射技术中发挥着重要作用。随着科学技术的不断进步和工业应用的不断拓展,氧化锌靶材的应用前景将更加广阔。