MEMS三轴加速度传感器,电容加速度传感器零频

MEMS三轴加速度传感器,电容加速度传感器零频

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西安慧沣测控技术有限公司
联系人
周斌(先生)
职位
经理
电话
029-65651206
手机
13279235256
微信
13720610110
价格
¥1.00/件
品牌
FH西安方恒
量程
2-40g
精度
0.1%
工作温度
-40~120℃
起订
1件
供应
100件
发货
3天内

FH413A05三轴加速度传感器说明书

一、简介

FH413A05 三轴加速度传感器由我公司自行研制,用于测量加速度的传感器。它采用低功耗、高精度、低噪声MEMS芯片,具有 BIMOS 信号限制电路。设计考虑多用户的需求,制造采用表贴工艺技术。具有低功耗、高可靠性和高封装坚固性,并具自检测(Self-Test)等功能,可实现自检测。

本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、 倾斜、速度和位置的惯性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。

二、原理

FH413A05三轴加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面 MEMS 多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克 服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块 相连的中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结 构的偏转,从而产生电压输出信号。

三、技术条件

 

性能

FH413A性能

Ax ,Ay ,Az

测量范围( g)

±2

±4

±5

± 10

±20

±40

灵敏度(mV/g)

1000±50

500±50

400±30

200±20

100±10

50±5

带宽(10%,Hz)

0~500

零 g 偏置电压(V)

2.5±0.05

满量程输出(V)

0.5-4.5

零偏温度变化(mg/ °C)

±0.2~ ±0.8

交叉轴影响(%)

≤2

非线性度(%F.S)

≤0.1

噪声密度(ug/ √Hz)

20~80

供电要求

供电电压(VDC)

12±0.5

输入电流(mA)

≤20

工作环境

 


 

使用温度(。C)

-45~+85

抗冲击( g)

5000

重量、体积

重量(g)

≤20

体积(mm³ )

21.6×21.6×12.4

四、接线端子定义

 

引线号

1

2

3

4

5

6

颜色

屏蔽

定义

12v

GND

Ax

Ay

Az

壳体地


人气
29
发布时间
2025-05-08 09:33
所属行业
加速度传感器
编号
41545561
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