2025上海表面精密加工博览会 PME CHINA|零部件表面精密加工
时间：2025年12月9-11日
地点：上海新国际博览中心
超精研磨技术基本原理
超精研磨技术的基本原理包括微量切削作用、塑性变形控制和化学辅助作用：
微量切削作用：通过单颗磨粒进行微小切削，保证去除量极少，以提高表面光洁度。
塑性变形控制：避免工件因高温或应力导致塑性变形，保持几何精度。
化学辅助作用：部分超精研磨技术结合化学反应（如CMP化学机械抛光），降低加工损伤，提高表面质量。
应用领域
超精研磨技术在多个领域有着广泛的应用，包括但不限于：
半导体制造：用于晶圆衬底的加工，保证晶圆表面的高平整度，提高芯片的制造质量。
光学镜片加工：用于加工镜片表面，实现高精度的光学效果。
陶瓷加工：用于去除陶瓷表面的缺陷，提高表面光洁度。
金属加工：在航空航天、汽车制造等领域，用于加工金属零件表面，实现高精度的加工效果。
五、发展趋势与挑战
随着科学技术的不断进步，超精研磨技术也在不断发展。未来，该技术将更加注重加工效率、加工质量和成本效益的平衡。智能化、自动化趋势也将更加明显。当前超精研磨技术仍面临多颗粒磨削机理建模、高精度设备开发等方面的挑战，需要科研人员不断探索和创新。
