便携型

小型、轻量化、易搬运

抗外部干扰强

■　低噪音

转子组件省略同步齿轮的设置，实现无噪音排气

配备隔音罩

■　洁净排气

无油蒸气和粒子的逆流

■　空冷型

仅电力需求，无需冷却水

■　低震动

螺杆型转子设计，有效防止排气脉冲

■　高速排气

内置旁通系统，大气压附近排气速度快

■　免维修

因转子组件省略同步齿轮的设置，可无需使用润滑油

免维修，无需更换轴封及润滑油

■　高效节能

省电设计

■　标准配置气镇功能

避免水蒸气凝结于真空泵中

■　国际规格

符合CE, SEMI, NRTL规格

用途

SEM、光刻

分析设备

医疗设备

加速器、离子源、EB-Gun

装载室/ 搬送室排气

一般产业

PVD

R&D

规格

外观尺寸表

性能曲线