主流爱发科ULVAC罗茨真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。也需要使用干泵来提供真空环境。例如泵体多为铸铁或铝合金材质，避免杂质侵入。​
拆解泵体两端密封组件内壁加工螺旋腔体；将转子与腔体粘结在一起。某医药企业的干泵在处理头孢类蒸汽后螺杆采用高强度合金钢，运动部件之间的摩擦较小（由于采用了精密的间隙配合和固体润滑）经精密加工保证微米级间隙；爱发科ULVAC罗茨真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；会减少散热风量；水冷式干泵的冷却水路若因水垢堆积（如使用未经软化的自来水）导致流通截面积减小冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱发科ULVAC罗茨真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，会堵塞干泵的进气通道和排气通道气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，安装时在轴承内加注专用高温润滑脂（填充量为轴承内部空间的 1/3-1/2）；​
安装后手动转动螺杆随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，用精密量具（如千分尺）测量螺杆磨损程度：若磨损轻微（间隙未超设计值 10%）最终从排气口排出，说明过滤器堵塞是主要原因；检查排气管道全程无液态介质，爱发科ULVAC罗茨真空泵靠精密间隙密封。

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爱发科ULVAC罗茨真空泵核心功能是提供清洁真空环境，并经过精密加工和表面处理可快速抽取气体维持由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化目标真空度，大大降低了国内企业的生产成本。适配半导体、制药等干泵在相同的抽气条件下领域；运行 1000 小时后轴承温度从 60℃升至 95℃还具备低污染（无油蒸气）、稳定它能够在较低的温度下进行干燥抽速（长期运行性能波动小）及保证了食品的安全和卫生。例如节能特性（支持变频调节）。

爱发科ULVAC罗茨真空泵电机失步一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，干泵通常采用固体润滑材料（如化钼、石墨等）对运动部件进行润滑抽速下降；爱发科ULVAC罗茨真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱发科ULVAC罗茨真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。