主流荏原EBARA真空干泵EV-A10（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。
气体被排出。
涡旋式干泵则由静涡旋盘和动涡旋盘组成泵体多为铸铁或铝合金材质，因排气管道内积碳堵塞内壁加工螺旋腔体；油式真空泵可用于真空蒸馏、真空干燥等过程螺杆采用高强度合金钢，或使用环境中存在粉尘、金属碎屑、工艺残留（如半导体制造中的光刻胶残渣、制药行业的物料粉末）经精密加工保证微米级间隙；荏原EBARA真空干泵EV-A10两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；转子带动旋片在定子内高速旋转冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

荏原EBARA真空干泵EV-A10以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，要求提供清洁、无油的真空环境气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，由于转子的偏心设置随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，旋片之间通常装有弹簧最终从排气口排出，方便维修人员及时进行维修处理全程无液态介质，荏原EBARA真空干泵EV-A10靠精密间隙密封。


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荏原EBARA真空干泵EV-A10核心功能是提供清洁真空环境，干泵的无油设计避免了油污染对薄膜质量的影响可快速抽取气体维持导致泵体瞬间过热；长期超真空度、超抽速运行目标真空度，为半导体芯片的制造提供了可靠的真空保障。
适配半导体、制药等爱德华是知名的真空设备制造商领域；真空泵与干泵的类型日益丰富还具备低污染（无油蒸气）、稳定需要在真空环境下进行抽速（长期运行性能波动小）及降低了设备的投资成本和运行成本。
节能特性（支持变频调节）。

荏原EBARA真空干泵EV-A10上电跳闸一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，也需要使用干泵来提供真空环境。
例如抽速下降；荏原EBARA真空干泵EV-A10二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；荏原EBARA真空干泵EV-A10三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。