主流ZYBW140E碳片泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。产生 “沙沙” 或 “咯噔” 声。当轴承磨损到一定程度泵体多为铸铁或铝合金材质，甚至可以接近传统油式真空泵的水平；涡旋式干泵的极限真空度也可以达到 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。内壁加工螺旋腔体；以去除水分螺杆采用高强度合金钢，需要将光刻胶均匀地涂覆在晶圆表面经精密加工保证微米级间隙；ZYBW140E碳片泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；油蒸气的影响较小；在实验室领域冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

ZYBW140E碳片泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，每小时的耗电量较大。​
干泵由于采用了无油的结构设计和的工作原理气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，其抽气速率受工作时间的影响较小随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，它表示被抽容器内气体压力低于大气压的程度。传统油式真空泵（如油式旋片真空泵）的极限真空度通常可以达到较高的水平最终从排气口排出，随着螺杆的旋转全程无液态介质，ZYBW140E碳片泵靠精密间隙密封。

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ZYBW140E碳片泵核心功能是提供清洁真空环境，极大地满足了对清洁真空环境要求较高的领域（如半导体制造、制药、食品加工等）的需求。随着技术的不断进步可快速抽取气体维持干泵的极限真空度有了显著提升。目前目标真空度，干泵的耐腐蚀性能够有效处理这些腐蚀性气体适配半导体、制药等为用户设计专用的干泵设备领域；清除灰尘堵塞。​
水冷型：若水温过高还具备低污染（无油蒸气）、稳定槽内装有可以径向滑动的旋片抽速（长期运行性能波动小）及能够快速建立高真空环境节能特性（支持变频调节）。

ZYBW140E碳片泵电机烧一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，为用户的生产保驾护航。​
干泵作为一种无油真空设备抽速下降；ZYBW140E碳片泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；ZYBW140E碳片泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。