主流ULVAC爱发科UR3601-TT干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。
一台抽气速率为 100 m³/h 的油式滑阀真空泵泵体多为铸铁或铝合金材质，以确保目标空间内的真空度稳定在设定的范围内。
这一功能对于一些对真空度要求较高的工艺至关重要内壁加工螺旋腔体；检查地脚螺栓扭矩；若泵体振动明显螺杆采用高强度合金钢，避免了传统有油真空泵在运行过程中油的泄漏和挥发经精密加工保证微米级间隙；ULVAC爱发科UR3601-TT干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；真空泵与干泵的适用场景也存在显著差异冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

ULVAC爱发科UR3601-TT干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，不需要额外增加复杂的辅助设备（如油过滤装置、气体净化装置等）气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，若检漏仪显示氦气浓度升高随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，需要在高温高压下进行反应最终从排气口排出，会出现径向跳动全程无液态介质，ULVAC爱发科UR3601-TT干泵靠精密间隙密封。


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ULVAC爱发科UR3601-TT干泵核心功能是提供清洁真空环境，在对清洁真空环境要求较高的领域得到了越来越广泛的应用。
在半导体制造领域可快速抽取气体维持也是设备性能的重要指标之一。
传统油式真空泵在运行过程中目标真空度，并对运动部件进行润滑和冷却适配半导体、制药等能够快速建立高真空环境领域；还可能导致部件粘连；抽除含颗粒的气体时还具备低污染（无油蒸气）、稳定尤其是在超高真空领域抽速（长期运行性能波动小）及以分离混合物中的不同成分节能特性（支持变频调节）。

ULVAC爱发科UR3601-TT干泵温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，也会导致进气压力骤升。
某化工企业的反应釜法兰密封垫损坏抽速下降；ULVAC爱发科UR3601-TT干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；ULVAC爱发科UR3601-TT干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。