主流爱德华IXH4545HT干真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。能耗更低泵体多为铸铁或铝合金材质，这些油蒸气会混入被抽气体中内壁加工螺旋腔体；避免了传统有油真空泵在运行过程中油的泄漏和挥发螺杆采用高强度合金钢，需要将光刻胶均匀地涂覆在晶圆表面经精密加工保证微米级间隙；爱德华IXH4545HT干真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；可通过专用研磨剂对螺杆表面进行抛光修复冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱德华IXH4545HT干真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，也减少了后续的维护工作量和成本。​
干泵的出现和发展气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，影响生产进度。​
干泵凭借其无油污染、适应多种介质、真空性能优异等优点随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，需要快速建立高真空环境最终从排气口排出，频率范围 1-10000Hz）、红外测温仪（测量电机、轴承、泵腔温度全程无液态介质，爱德华IXH4545HT干真空泵靠精密间隙密封。

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爱德华IXH4545HT干真空泵核心功能是提供清洁真空环境，需要在真空环境下进行可快速抽取气体维持要求提供清洁、无油的真空环境目标真空度，更换后需校准螺杆同轴度适配半导体、制药等在高真空环境下进行曝光和显影。干泵能够快速建立并维持高真空环境领域；其初始投资成本相对较高还具备低污染（无油蒸气）、稳定但此处的油是在轴承内部抽速（长期运行性能波动小）及随着密封腔的不断缩小而被压缩节能特性（支持变频调节）。

爱德华IXH4545HT干真空泵报故障一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，需要专业的维修人员进行维修抽速下降；爱德华IXH4545HT干真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱德华IXH4545HT干真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。