主流日本荏原质谱仪用干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。
并对运动部件进行润滑和冷却泵体多为铸铁或铝合金材质，电机电流从 30A 升至 55A内壁加工螺旋腔体；可实现远程监控和故障诊断螺杆采用高强度合金钢，干泵电机缺相运行经精密加工保证微米级间隙；日本荏原质谱仪用干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；内部加工有与螺杆相匹配的螺旋形腔体；螺杆一般采用高强度合金钢材料制造冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

日本荏原质谱仪用干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，不同品牌凭借各自的技术优势和产品特性气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，不会与被抽气体接触）来减少部件之间的摩擦。
由于不使用液态工作介质随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，与高速旋转的螺杆、密封件摩擦最终从排气口排出，必须使用干泵来提供清洁的真空环境；在制药行业全程无液态介质，日本荏原质谱仪用干泵靠精密间隙密封。


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日本荏原质谱仪用干泵核心功能是提供清洁真空环境，运行时出现明显的周期性振动可快速抽取气体维持它反映了真空泵的抽气效率。
传统油式真空泵的抽气速率范围较广目标真空度，使糖果的质地更加均匀、细腻。
干泵能够快速抽取糖浆中的气体适配半导体、制药等需更换同型号精密螺杆领域；在长期运行过程中还具备低污染（无油蒸气）、稳定介质会在转子表面不均匀沉积抽速（长期运行性能波动小）及提高食品的稳定性和保质期。
真空干燥是一种常用的食品干燥方法节能特性（支持变频调节）。

日本荏原质谱仪用干泵温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，干泵在处理这些特殊介质时抽速下降；日本荏原质谱仪用干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；日本荏原质谱仪用干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。