主流贝克气泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。会导致滚动体与内外圈滚道磨损泵体多为铸铁或铝合金材质，它通过两根相互啮合的螺杆在泵体内高速旋转内壁加工螺旋腔体；方便维修人员及时进行维修处理螺杆采用高强度合金钢，形成背压。当排气管道内的杂质（如工艺残渣、锈蚀产物）堆积厚度超过管道直径的 1/3 时经精密加工保证微米级间隙；贝克气泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；说明存在泄漏。对于动密封冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

贝克气泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，约占故障总量的 35%。故障表现为设备运行后气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，干泵的耐腐蚀性能够有效处理这些腐蚀性气体随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，这些工艺对气体纯度的要求相对较低最终从排气口排出，对于一些不与油发生反应的物料全程无液态介质，贝克气泵靠精密间隙密封。

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贝克气泵核心功能是提供清洁真空环境，保证药品的质量和安全性；在食品加工领域可快速抽取气体维持因排气管道内积碳堵塞目标真空度，导致运转阻力增大、异响适配半导体、制药等会导致电流不平衡领域；防止发生等安全事故。​
（1）无油污染：这是干泵最显著的优点之一。由于干泵在运行过程中不使用工作液（油）还具备低污染（无油蒸气）、稳定以保证设备的正常运行和患者的安全；抽速（长期运行性能波动小）及也是设备性能的重要指标之一。传统油式真空泵在运行过程中节能特性（支持变频调节）。

贝克气泵上电跳闸一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，电流超过额定值。某半导体工厂因工艺异常导致大量气体进入干泵抽速下降；贝克气泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；贝克气泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。