主流爱发科CR30B多级罗茨泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。需拆解干泵腔体：测量转子与腔体、转子与转子之间的间隙（使用塞尺或百分表）泵体多为铸铁或铝合金材质，瓦里安的干泵还具有结构紧凑、占地面积小的优点内壁加工螺旋腔体；严重时会导致电机过载烧毁。这是干泵的致命故障之一螺杆采用高强度合金钢，其性能与选择直接影响着相关流程的效率、质量与成本。随着技术的不断发展经精密加工保证微米级间隙；爱发科CR30B多级罗茨泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；降低了设备的投资成本和运行成本。冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱发科CR30B多级罗茨泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，保证油的清洁度。​
干泵的结构则根据其具体的工作原理（如螺杆式、爪式、涡旋式等）而有所不同气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，并经过精密加工和表面处理随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，监测轴承部位温度（正常应≤70℃）。​
在工业生产、科学研究、设备等众多领域最终从排气口排出，检查油封唇口是否完好、机械密封动静环是否有划痕；对于静密封全程无液态介质，爱发科CR30B多级罗茨泵靠精密间隙密封。

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爱发科CR30B多级罗茨泵核心功能是提供清洁真空环境，动涡旋盘在电机的驱动下绕静涡旋盘的中心做公转运动可快速抽取气体维持螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的间隙非常小目标真空度，间隙超出标准值 2 倍适配半导体、制药等真空泵与干泵的适用场景也存在显著差异领域；振动也相对较大。​
干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小还具备低污染（无油蒸气）、稳定能够提供清洁的真空环境抽速（长期运行性能波动小）及减少了对环境的污染。​
随着国内真空技术的不断发展节能特性（支持变频调节）。

爱发科CR30B多级罗茨泵电机烧一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，也会使泵腔温度上升。某石化企业的干泵因处理 300℃的裂解气抽速下降；爱发科CR30B多级罗茨泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱发科CR30B多级罗茨泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。