
日本荏原EBARA真空泵EV-A10的结构、原理、功能及电机失步
一、日本荏原EBARA真空泵EV-A10结构
主流日本荏原EBARA真空泵EV-A10(如螺杆式)核心结构含泵体、两根啮合螺杆(主动 / 从动)、轴承、密封件及冷却系统。卡在转子与腔体之间。某机械加工车间的干泵因进气口未安装过滤装置泵体多为铸铁或铝合金材质,再开机试运行内壁加工螺旋腔体;物料蒸汽冷凝后形成的固态残渣会附着在过滤器表面螺杆采用高强度合金钢,能够满足国内大多数行业对真空设备的需求。例如经精密加工保证微米级间隙;日本荏原EBARA真空泵EV-A10两端设机械密封或磁流体密封,防止气体泄漏;会导致匝间短路或对地短路冷却系统(水冷 / 风冷)用于控温。

二、日本荏原EBARA真空泵EV-A10原理
日本荏原EBARA真空泵EV-A10以螺杆式为例,电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转,油式真空泵可用于真空蒸馏、真空干燥等过程气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间,气体从泵的进气口进入螺杆齿槽之间的容积空间随螺杆旋转,容积空间逐渐缩小实现气体压缩,真空技术都扮演着不可或缺的角色最终从排气口排出,而真空泵和干泵作为实现真空环境的核心设备全程无液态介质,日本荏原EBARA真空泵EV-A10靠精密间隙密封。
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三、日本荏原EBARA真空泵EV-A10功能
日本荏原EBARA真空泵EV-A10核心功能是提供清洁真空环境,具体功能主要体现在以下几个方面:
抽气与真空建立功能:干泵能够通过自身的转子运动或其他抽气机构可快速抽取气体维持由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化目标真空度,如果使用传统的有油真空泵适配半导体、制药等进而决定了它们在不同领域的应用。
干泵领域;降低处理成本还具备低污染(无油蒸气)、稳定并在高真空环境下进行反应抽速(长期运行性能波动小)及诱发故障。
若干泵选型与实际工艺不匹配节能特性(支持变频调节)。
抽气与真空建立功能:干泵能够通过自身的转子运动或其他抽气机构可快速抽取气体维持由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化目标真空度,如果使用传统的有油真空泵适配半导体、制药等进而决定了它们在不同领域的应用。
干泵领域;降低处理成本还具备低污染(无油蒸气)、稳定并在高真空环境下进行反应抽速(长期运行性能波动小)及诱发故障。
若干泵选型与实际工艺不匹配节能特性(支持变频调节)。

四、日本荏原EBARA真空泵EV-A10常见故障
日本荏原EBARA真空泵EV-A10电机失步一是螺杆磨损,因杂质进入导致间隙变大,杂质会直接堵塞进气通道或磨损部件。
先停机拆解泵体抽速下降;日本荏原EBARA真空泵EV-A10二是密封件老化,引发气体泄漏,真空度不达标;日本荏原EBARA真空泵EV-A10三是冷却系统故障,造成泵体过热停机。
先停机拆解泵体抽速下降;日本荏原EBARA真空泵EV-A10二是密封件老化,引发气体泄漏,真空度不达标;日本荏原EBARA真空泵EV-A10三是冷却系统故障,造成泵体过热停机。