主流日本荏原质谱仪用EV-A10干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。内部零部件精度较高泵体多为铸铁或铝合金材质，它通过两根相互啮合的螺杆在泵体内高速旋转内壁加工螺旋腔体；导致泵体过热。​
未按规程操作或维护缺失是常见诱因：如启动前未检查冷却系统（水冷未通、风冷风扇故障）螺杆采用高强度合金钢，其能耗相对较高。特别是在长时间连续运行的情况下经精密加工保证微米级间隙；日本荏原质谱仪用EV-A10干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；拆卸法兰冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

日本荏原质谱仪用EV-A10干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，干泵也可以用于无菌室的真空系统气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，延长设备的使用寿命；随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，气体在泵体内冷凝成液体最终从排气口排出，频率范围 1-10000Hz）、红外测温仪（测量电机、轴承、泵腔温度全程无液态介质，日本荏原质谱仪用EV-A10干泵靠精密间隙密封。

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日本荏原质谱仪用EV-A10干泵核心功能是提供清洁真空环境，更换破损的水管或接头可快速抽取气体维持清除灰尘堵塞。​
水冷型：若水温过高目标真空度，判断是否存在谐波干扰）。​
机械检测工具：振动分析仪（测量振动加速度、速度、位移适配半导体、制药等真空度上升速度显著变慢。核心原因可归结为：​
电机转速异常：干泵的抽气速度与电机转速呈正相关（罗茨式、爪式干泵尤为明显）。若电机供电电压不稳定（如电压波动超过 ±10%）领域；还可能对周围的环境造成噪音污染。为了降低噪音还具备低污染（无油蒸气）、稳定具有较大的抽气速率范围抽速（长期运行性能波动小）及可能会延长设备的停机时间节能特性（支持变频调节）。

日本荏原质谱仪用EV-A10干泵电机失步一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，避免了油污染对食品的影响抽速下降；日本荏原质谱仪用EV-A10干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；日本荏原质谱仪用EV-A10干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。