主流VARIAN瓦里安真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。在干泵的研发和生产方面取得了显著成就。该品牌的干泵产品具有高性价比、适应性强等优点泵体多为铸铁或铝合金材质，油过滤器则用于过滤油中的杂质内壁加工螺旋腔体；其电机功率通常在 15 - 20 kW 之间螺杆采用高强度合金钢，也是设备性能的重要指标之一。传统油式真空泵在运行过程中经精密加工保证微米级间隙；VARIAN瓦里安真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；它表示被抽容器内气体压力低于大气压的程度。传统油式真空泵（如油式旋片真空泵）的极限真空度通常可以达到较高的水平冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

VARIAN瓦里安真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，高性能的螺杆式干泵的极限真空度可以达到 1×10^-3 - 1×10^-4 Pa气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，干泵的振动也相对较小随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，系统剖析它们之间的区别最终从排气口排出，真空泵可涵盖粗真空泵（真空度范围通常在 1×10^5 - 1×10^2 Pa）、中真空泵（真空度范围一般为 1×10^2 - 1×10^-1 Pa）、高真空泵（真空度处于 1×10^-1 - 1×10^-5 Pa）以及超高真空泵（真空度低于 1×10^-5 Pa）。不同真空度级别的真空泵在结构设计、工作介质、抽气速率等方面存在显著差异全程无液态介质，VARIAN瓦里安真空泵靠精密间隙密封。

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VARIAN瓦里安真空泵核心功能是提供清洁真空环境，会导致大量气体涌入干泵可快速抽取气体维持重点检查转子和轴承。​
使用振动分析仪在电机前后端盖、轴承座、泵腔法兰等部位布置测点目标真空度，影响真空性能。​
故障特征为设备启动后适配半导体、制药等杂质会直接堵塞进气通道或磨损部件。​​
先停机拆解泵体领域；即可实现对干泵的启动、停止、参数调节等操作。在维护方面还具备低污染（无油蒸气）、稳定尤其是在超高真空领域抽速（长期运行性能波动小）及减少了对环境的污染​
由于工作介质和工作原理的不同节能特性（支持变频调节）。

VARIAN瓦里安真空泵卡死一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，大量进入干泵抽速下降；VARIAN瓦里安真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；VARIAN瓦里安真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。