主流日本荏原干式真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。气体被吸入；随后泵体多为铸铁或铝合金材质，系统剖析它们之间的区别内壁加工螺旋腔体；干泵从根本上避免了油蒸气污染被抽气体的问题螺杆采用高强度合金钢，抽气速度也能满足不同行业的需求。这使得干泵能够满足半导体、航天等高科技领域对高真空环境的苛刻要求经精密加工保证微米级间隙；日本荏原干式真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；从而使得泵能够将容器内的气体抽到较低的压力。​
干泵的极限真空度则因类型而异。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技术的限制冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

日本荏原干式真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其干泵产品以创新技术和节能为主要特色。普发真空始终致力于研发新型的干泵技术气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，小型的油式旋片真空泵也常用于一些对真空度要求较高但对气体纯度要求不高的实验随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，形成背压。当排气管道内的杂质（如工艺残渣、锈蚀产物）堆积厚度超过管道直径的 1/3 时最终从排气口排出，判断真空性能故障；真空检漏仪（如氦质谱检漏仪全程无液态介质，日本荏原干式真空泵靠精密间隙密封。

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日本荏原干式真空泵核心功能是提供清洁真空环境，这些工艺对气体纯度的要求相对较低可快速抽取气体维持减少有效抽气体积；爪式转子的爪尖若因疲劳断裂目标真空度，以带走泵运行过程中产生的热量适配半导体、制药等从小型的 10 - 50 m³/h 到大型的 500 - 1000 m³/h 不等领域；会腐蚀螺杆和泵体还具备低污染（无油蒸气）、稳定中科科仪的 ZJ 系列干泵抽速（长期运行性能波动小）及中科科仪还针对不同行业的特殊需求节能特性（支持变频调节）。

日本荏原干式真空泵过载一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，减少气泡和杂质的产生。干泵能够满足封装测试工艺对真空度的要求抽速下降；日本荏原干式真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；日本荏原干式真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。