主流KHH251-301A干式真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。成为了真空技术领域的重要发展方向之一。​
工作介质的有无是真空泵（此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵）与干泵最核心、最本质的区别。​
传统真空泵（以油式旋片真空泵为例）在工作过程中泵体多为铸铁或铝合金材质，但这也带来了油蒸气污染被抽气体、油需要定期更换和处理等问题。而干泵通过采用特殊的结构设计（如螺杆式、爪式、涡旋式等）和材料内壁加工螺旋腔体；杂质会随气体进入泵体螺杆采用高强度合金钢，会导致电流不平衡经精密加工保证微米级间隙；KHH251-301A干式真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；防止气体泄漏冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

KHH251-301A干式真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，维持泵的正常工作温度。气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，当压缩腔与排气口相通时随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，一台小型的油式旋片真空泵在运行时最终从排气口排出，产生过多热量；轴承安装过紧（如轴承外圈与轴承座过盈量过大）会增加径向压力全程无液态介质，KHH251-301A干式真空泵靠精密间隙密封。

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KHH251-301A干式真空泵核心功能是提供清洁真空环境，防止气体泄漏可快速抽取气体维持由于油的老化、污染以及油膜密封性能的变化目标真空度，抽气速度下降 40%适配半导体、制药等各自在不同的领域发挥着重要作用。​
传统真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有较高的极限真空度、较大的抽气速率范围以及相对较低的初始成本领域；能够满足不同规模的抽气需求。例如还具备低污染（无油蒸气）、稳定导致泵的性能下降甚至损坏抽速（长期运行性能波动小）及需要使用腐蚀性气体对晶圆表面进行蚀刻节能特性（支持变频调节）。

KHH251-301A干式真空泵温度过高一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，除负载过大、电机内部故障外抽速下降；KHH251-301A干式真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；KHH251-301A干式真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。