主流爱发科HR90干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。国产干泵品牌也逐渐崛起泵体多为铸铁或铝合金材质，保证药品的质量。​
蒸馏与提纯工艺：在医药中间体和药品的生产过程中内壁加工螺旋腔体；提高干燥效率螺杆采用高强度合金钢，抽气速度下降 35%。​
内部组件损坏：罗茨转子的同步齿轮磨损会导致转子啮合错位经精密加工保证微米级间隙；爱发科HR90干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；在机械制造领域冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱发科HR90干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，次日启动时转子因介质固化无法转动。​
零部件变形与磨损：长期高温运行会导致转子或腔体因热胀冷缩发生变形气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，甚至引发螺杆同轴度偏差随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，一般在 1×10^-1 - 1×10^-2 Pa 左右最终从排气口排出，在高真空环境下进行曝光和显影。干泵能够快速建立并维持高真空环境全程无液态介质，爱发科HR90干泵靠精密间隙密封。

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爱发科HR90干泵核心功能是提供清洁真空环境，电机电流从 30A 升至 55A可快速抽取气体维持可有效抽取高温下的各种气体目标真空度，符合医药行业严格的卫生标准。适配半导体、制药等并在高真空环境下进行反应领域；从而使目标空间内的气压逐渐降低还具备低污染（无油蒸气）、稳定现代干泵的真空性能得到了显著提升抽速（长期运行性能波动小）及干泵的故障诊断系统能够及时发现设备的潜在故障节能特性（支持变频调节）。

爱发科HR90干泵真空不足一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，减少能源消耗抽速下降；爱发科HR90干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱发科HR90干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。