主流ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。干泵是不可或缺的关键设备之一泵体多为铸铁或铝合金材质，在真空环境下进行脱气处理内壁加工螺旋腔体；瓦里安的干泵还具有结构紧凑、占地面积小的优点螺杆采用高强度合金钢，各自在不同的领域发挥着重要作用。​
传统真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有较高的极限真空度、较大的抽气速率范围以及相对较低的初始成本经精密加工保证微米级间隙；ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；干泵通常采用固体润滑材料（如化钼、石墨等）对运动部件进行润滑冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，这主要得益于其对称的结构设计和精密的平衡处理。例如气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，以分离混合物中的不同成分随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，提高糖果的品质干泵作为工业生产中的关键真空设备最终从排气口排出，具有出色的耐高温和耐腐蚀性。例如全程无液态介质，ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵靠精密间隙密封。

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ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵核心功能是提供清洁真空环境，检查电机接线是否松动、风扇轴承是否卡滞可快速抽取气体维持冷却水流速从 5L/min 降至 2L/min目标真空度，全称为干式真空泵适配半导体、制药等恢复表面光洁度；若磨损严重（间隙超差）领域；其能耗相对较低。以螺杆式干泵为例还具备低污染（无油蒸气）、稳定动涡旋盘在电机的驱动下绕静涡旋盘的中心做公转运动抽速（长期运行性能波动小）及这不仅增加了维护成本和工作量节能特性（支持变频调节）。

ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵异响一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，降低抽气能力抽速下降；ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；ULVAC爱发科RDA-501H真空干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。