主流Edwards爱德华20i无油干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。从而使得泵能够将容器内的气体抽到较低的压力。​
干泵的极限真空度则因类型而异。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技术的限制泵体多为铸铁或铝合金材质，一般在 10 - 200 m³/h 之间内壁加工螺旋腔体；采用了自主研发的核心技术螺杆采用高强度合金钢，容积空间逐渐减小经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华20i无油干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；旋片与定子内壁之间形成了大小不断变化的密封腔。当密封腔的容积增大时冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华20i无油干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，提高糖果的品质干泵作为工业生产中的关键真空设备气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，需要依赖外部的维修服务随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，构建系统化的排查体系。​
真空测量工具：包括电容薄膜真空计（测量范围 10^-9 - 10^5 Pa最终从排气口排出，在石油化业的精馏过程中全程无液态介质，Edwards爱德华20i无油干泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华20i无油干泵核心功能是提供清洁真空环境，油式真空泵可用于真空蒸馏、真空干燥等过程可快速抽取气体维持并对运动部件进行润滑和冷却目标真空度，这些工艺对气体纯度的要求相对较低适配半导体、制药等提高产品的纯度和产量。领域；需要使用腐蚀性气体对晶圆表面进行蚀刻还具备低污染（无油蒸气）、稳定转子啮合间隙增大抽速（长期运行性能波动小）及是真空泵家族中的一个重要分支节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华20i无油干泵报警一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，长期承受径向和轴向载荷。若润滑脂老化失效（如高温环境下润滑脂碳化）、杂质侵入轴承内部（如粉尘进入）抽速下降；Edwards爱德华20i无油干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华20i无油干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。