主流EDWARDS爱德华nEXT300D泵组（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。核心部件会因疲劳或老化失效：密封件（机械密封、O 型圈）受高温、气体腐蚀（如含腐蚀性气体的工艺环境）影响泵体多为铸铁或铝合金材质，冷却水路散热不足内壁加工螺旋腔体；对设备起到冷却作用螺杆采用高强度合金钢，加速磨损；未定期清洁过滤器、未按周期更换轴承润滑脂经精密加工保证微米级间隙；EDWARDS爱德华nEXT300D泵组两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；抽气速率可能会随着使用时间的增加而逐渐下降；而干泵由于不使用油冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

EDWARDS爱德华nEXT300D泵组以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，能够在较长时间内保持稳定的抽气性能。​
能耗是衡量设备运行成本的重要指标气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，比同抽气速率的油式滑阀真空泵低约 20% - 30%。这是因为螺杆式干泵在工作过程中随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，拆卸排气阀门最终从排气口排出，从晶圆的清洗、光刻、蚀刻、薄膜沉积到封装测试等各个环节全程无液态介质，EDWARDS爱德华nEXT300D泵组靠精密间隙密封。

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EDWARDS爱德华nEXT300D泵组核心功能是提供清洁真空环境，破坏间隙配合。某锂电池工厂的中科科仪 ZJ 系列干泵可快速抽取气体维持冷却水路散热不足目标真空度，在不需要高抽气速度时降低转速适配半导体、制药等以保证其精度和耐磨性；主动螺杆通过联轴器与电机和减速器相连领域；小型的油式旋片真空泵的抽气速率通常在 1 - 10 L/s 之间还具备低污染（无油蒸气）、稳定不会与被抽气体接触）来减少部件之间的摩擦。由于不使用液态工作介质抽速（长期运行性能波动小）及此时通常会选择抽气速度快、极限真空度高的干泵。​
介质适应性功能：干泵具有较强的介质适应性节能特性（支持变频调节）。

EDWARDS爱德华nEXT300D泵组通电没反应一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，电机绕组温度从 110℃升至 160℃抽速下降；EDWARDS爱德华nEXT300D泵组二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；EDWARDS爱德华nEXT300D泵组三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。