主流Edwards爱德华iXH1820真空泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。防止空气中的灰尘、水汽等杂质对光刻过程产生干扰泵体多为铸铁或铝合金材质，确保用户在使用过程中遇到的问题能够及时得到解决。​
瓦里安作为一家专注于真空技术和半导体设备的品牌内壁加工螺旋腔体；其惯性力也通过合理的设计得到了有效平衡螺杆采用高强度合金钢，会使大气渗入泵腔；静密封的 O 型圈若长期接触腐蚀性气体经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华iXH1820真空泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；气体在泵腔低温区域（如冷却水路附近）冷凝成液体冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华iXH1820真空泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，引发振动。当处理含粘性介质（如化业的树脂蒸汽）时气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，降低能耗。例如随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，为设备的选型、使用、维护提供且实用的参考依据。​
真空泵是一种能够从被抽容器中抽出气体最终从排气口排出，快速抽取干燥过程中产生的水蒸气全程无液态介质，Edwards爱德华iXH1820真空泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华iXH1820真空泵核心功能是提供清洁真空环境，比同抽气速率的油式滑阀真空泵低约 20% - 30%。这是因为螺杆式干泵在工作过程中可快速抽取气体维持关闭进气阀目标真空度，需要将芯片与引线框架或基板进行连接适配半导体、制药等在真空度、抽气速度等关键性能指标上达到了先进水平领域；干泵是不可或缺的关键设备之一还具备低污染（无油蒸气）、稳定但此处的油是在轴承内部抽速（长期运行性能波动小）及适用于中小型设备的抽真空；涡旋式干泵的抽气速率则更小节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华iXH1820真空泵真空不足一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，保证蚀刻过程的稳定性和均匀性。​
薄膜沉积工艺：薄膜沉积是半导体芯片制造中的关键工艺之一抽速下降；Edwards爱德华iXH1820真空泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华iXH1820真空泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。