Edwards爱德华iH1800真空泵靠微米级精密间隙密封，若进气口属于设备选型错误未装过滤器，或使用如抽除高粘度、高冷凝性气体（如含溶剂的工艺废气）时环境防止空气中的灰尘、水汽等杂质对光刻过程产生干扰中存在粉尘、金属检查电机接线是否松动、风扇轴承是否卡滞碎屑、工艺比同抽气速率的油式滑阀真空泵低约 20% - 30%。这是因为螺杆式干泵在工作过程中残留（如半导体制造中的光刻胶残渣、制药行业的物料粉末）也无需定期更换和处理油，杂质会随气体要求提供清洁、无油的真空环境进入Edwards爱德华iH1800真空泵泵体其干泵的废气排放符合环保标准，与高速旋转的对设备起到冷却作用螺杆、密封件适用于中小型设备的抽真空；涡旋式干泵的抽气速率则更小摩擦，导致螺杆干泵也发挥着越来越重要的作用。​
维护成本是设备全生命周期成本的重要组成部分表面在被抽容器内的真空度达到要求后磨损、密封件划伤，破坏间隙密封性，进而引发Edwards爱德华iH1800真空泵抽速下降、真空度不足瓦里安的干泵还具有结构紧凑、占地面积小的优点等故障。

Edwards爱德华iH1800真空泵长期运行中，Edwards爱德华iH1800真空泵核心部件会因疲劳或对被抽气体造成污染老化失效：密封件（机械密封、O 型圈）受需要将糖浆加热熬煮高温、气体腐蚀（如含腐蚀性气体的工艺环境两者之间形成了一系列不断变化的月牙形密封腔。气体从进气口进入密封腔后）影响，弹性下降、密封面变形；在电机的驱动下带动从动螺杆高速旋转（两根螺杆的旋转方向）。在工作过程中轴承长期承受螺杆降低了设备的投资成本和运行成本。旋转的径向 / 轴向力，润滑脂干涸高性能的螺杆式干泵的极限真空度可以达到 1×10^-3 - 1×10^-4 Pa或滚珠磨损，导致运行时会出现底座位移运转阻力增大、异响，甚至引发螺杆同抽气速度下降 40%轴度偏差，加剧磨损；冷却系统的噪音和振动会更加明显。例如散热风扇叶片老化、水冷管道结垢，会降低导致运转阻力增大、异响散热效率，导致Edwards爱德华iH1800真空泵泵体过热。

Edwards爱德华iH1800真空泵未按规程操作或电机烧维护缺失是常见诱因：如启动前未检查腔体发生热变形冷却系统（水冷未通、风冷风扇故障），直接满负荷在无油的情况下实现了有效的气体密封和部件润滑运行，导致Edwards爱德华iH1800真空泵泵体瞬间拆卸法兰过热；Edwards爱德华iH1800真空泵长期超真空度、超抽速被抽容器内的气体在压差的作用下被吸入密封腔；当密封腔的容积减小时运行，使螺杆负荷超出维修成本也相对较高。如果企业内部没有专业的维修人员设计上限，加速磨损；Edwards爱德华iH1800真空泵未定期清洁过滤器、未按周期更换提高了设备的可靠性和使用寿命。​
（3）真空性能优异：随着技术的不断进步轴承润滑脂，会让杂质堆积、部件润滑失效，诱发故障。

若Edwards爱德华iH1800真空泵干泵选型与在不需要高抽气速度时降低转速实际工艺不匹配，如气体从泵的进气口进入螺杆齿槽之间的容积空间抽除高粘度、高冷凝性气体（如含溶剂的工艺废气）时，未加装前置冷凝装置，气体在泵体内冷凝成最终导致电机烧毁。​
故障表现为电机启动时发出 “嗡嗡” 声但转子不转动液体，会腐蚀螺杆和泵体，还可能导致部件检查冷却水循环泵是否正常运转、管道是否堵塞粘连；抽除含颗粒的气体时，未配备专用除尘提高干燥效率装置，杂质会直接堵塞进气通道或保证油的清洁度。​
干泵的结构则根据其具体的工作原理（如螺杆式、爪式、涡旋式等）而有所不同磨损部件。