1.    简介

1.1 产品简介

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　　激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为计算单位的检测设备，是高精度、高灵敏度的检测设备，在高端制造领域应用广泛。

　　SJ6000激光干涉仪产品采用高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现多种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(约8分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光输出，采用不同的光学镜组可以测量出线性长度、角度、直线度、平行度、平面度以及垂直度等几何量，并且可以进行动态测量分析。

　　SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、*高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现线性长度、角度、平面度、直线度、垂直度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以进行动态性能检测。如振动分析；滚珠丝杆的动态特性分析；驱动系统的响应特性分析；导轨的动态特性分析等，为设备误差修正提供依据。