P75-压电物镜位移器为小体积大行程压电物镜定位器，内置高性能压电陶瓷，闭环精度高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。
特点：
运动范围100μm
定位精度达纳米级
响应速度可达毫秒级
直线运动无偏航
应用：
晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像
P75-压电物镜位移器为小体积大行程压电物镜定位器，内置高性能压电陶瓷，闭环精度高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。
特点：
运动范围100μm
定位精度达纳米级
响应速度可达毫秒级
直线运动无偏航
应用：
晶圆切割•生物显微•白光干涉• 原子力显微镜•差动聚焦检测系统•显微光学成像