XP-630压电平台，采用压电陶瓷直驱结构，无摩擦柔性铰链机构设计的一维压电平台，产品体积小巧、负载能力强、响应速度快，内置高性能全闭环传感器定位精度极高，可以通过组合行程二维、三维压电平台
特点：
1-3维自由组合
单轴最大行程68μm
柔性铰链导向、全闭环传感定位精度高
压电陶瓷直驱机构、负载能力强、运动方向刚度大
响应速度快，可达毫秒量级
应用：
光纤端面检测 聚焦显微成像 电化学加工 3D锡膏检测 精密定位 精密加工 光纤对接
XP-630压电平台，采用压电陶瓷直驱结构，无摩擦柔性铰链机构设计的一维压电平台，产品体积小巧、负载能力强、响应速度快，内置高性能全闭环传感器定位精度极高，可以通过组合行程二维、三维压电平台
特点：
1-3维自由组合
单轴最大行程68μm
柔性铰链导向、全闭环传感定位精度高
压电陶瓷直驱机构、负载能力强、运动方向刚度大
响应速度快，可达毫秒量级
应用：
光纤端面检测 聚焦显微成像 电化学加工 3D锡膏检测 精密定位 精密加工 光纤对接