G5U-PH 激光干涉仪
G5U-PH激光干涉仪是G10U-PH的高分辨率升级版，为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。
一、仪器规格参数
G5U-PH激光干涉仪是G10U-PH的高分辨率升级版，为3D屏及全面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前PV值的测量。
仪器规格参数表
硬件部分：
产品型号 | G5U-PH |
产品名称 | 5mm正立式激光干涉仪 |
测试口径 | Φ5mm |
辅助对准口径 | Φ30mm |
标准镜面形精度 | λ/20 |
光源 | 进口He-Ne激光器（632.8nm) |
光路切换 | 辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换 |
电源 | AC220V50HZ |
软件部分：
软件名称 | 移相算法（简称PH） |
分析项目 | 透过波前PV值、平行度Tilt值等 |
测试重复性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
测试允许误差 | PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹） 1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹） 2λ<PV<3λ时 PV：0.2λ Tilt：1fr（零场调整为1根条纹） |
测试时间 | 1.5~2秒 |