脉冲激光沉积的应用领域
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脉冲激光沉积技术适合做的薄膜包括各种多元氧化物,氮化物,硫化物薄膜,金属薄膜,磁性材料等。
应用领域:
单晶薄膜外延(SrTiO3,LaAlO3)
压电薄膜(PZT,AlN,BiFeO3,BaTiO3)
铁电薄膜(BaTiO3,KH2PO4)
热电薄膜(SrTiO3)
金属和化合物薄膜电极(Ti,Ag,Au,Pt,Ni,Co,SrRuO3,LaNiO3,YZrO2,GdCeO2,LaSrCoFeO3)
半导体薄膜(Zn(Mg)O,AlN,SrTiO3)
高K介质薄膜(HfO2,CeO2,Al2O3,BaTiO3,pld300型激光镀膜设备批发,SrTiO3,PbZrTiO3,LaAlO3,Ta2O5)
超导薄膜(YBa2CuO7-x,BiSrCaCuO)
光波导,光学薄膜(PZT,AlN,BaTiO3,Al2O3,ZrO2,TiO2)
超疏水薄膜(PTFE)
红外探测薄膜(V2O5,PZT)
脉冲激光沉积原理
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供,今天我们来分享脉冲激光沉积的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助。
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脉冲激光沉积原理:在真空环境下利用脉冲激光对靶材表面进行轰击,利用激光产生的局域热量将靶材物质轰击出来,再沉积在不同的衬底上,从而形成薄膜。
脉冲激光沉积简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业脉冲激光沉积供应商,我们为您带来以下信息。
【设备主要用途】
PLD450A型脉冲激光沉积设备采用PLD脉冲激光沉积技术,激光镀膜设备批发,用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。
【设备优点】
设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。
避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。
【设备主要组成】
设备由沉积腔室(单室球形或圆筒形)、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成
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沈阳鹏程真空技术有限责任公司(www.pengchengzk.com)是从事“电阻热蒸发镀膜,磁控溅射,激光脉冲沉积,电子束”的企业,公司秉承“诚信经营,用心服务”的理念,为您提供优质的产品和服务。
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