工艺及厂务二次配工程：从主系统预留阀（Take off Valve）接至工艺机台（Tools）的工艺配管工程
1.PCW制程冷却水
2.HV、PV高低真空管路
3.CDA干燥压缩空气
4.制程排气风管
5.酸、碱、有机排水
6.设备电力工程