硅靶材
关键词:硅靶材,高纯硅靶材, 硅靶材镀膜, 硅旋转靶材, 硅铝合金靶材, 硅铝旋转靶材, 铝硅靶材
单晶硅靶材、多晶硅靶材、喷涂硅管靶
纯度:99.9-99.999%
硅靶材尺寸:
● 尺寸01:直径<360mm 厚度>1mm (形状:圆片/圆台/圆棒);
● 尺寸02:长度<600mm 宽度<400mm 厚度>1mm;形状:矩形/片材/台阶状(可拼接);
● 尺寸03:外直径<360mm,内直径>1mm,壁度>1mm,长度>1mm,最长4000mm(形状:管材/圆环/旋转靶材);
制作工艺
真空磁悬浮熔炼 ,浇铸成锭,热机械处理和精密机械加工;也可硅旋转靶采用等离子喷涂或者烧结绑定工艺,硅平面靶采用拉晶生长工艺。
应用领域:薄膜太阳能工业,低辐射玻璃工业,平板显示工业,光学镀膜工业,半导体工业,工具及装饰镀膜工业。