硅铝靶材
玻璃镀膜旋转硅铝靶, 铝硅合金靶材加工,铝硅靶材加工, 硅铝旋转靶, 喷涂硅铝靶材, 铝硅靶材, 铬铝硅靶材
公司生产的硅铝靶材采用先进的热等静压工艺和热喷涂工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶和管靶等类型,具有成分比例范围宽(铝含量为10at%~90at%)、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。硅铝靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等,也可按照客户要求定制特殊成分和规格靶材。
硅铝靶
Silicon-aluminum target
性能
Product performance
化学成分/at%
Composition
Si90Al10
Si70Al30
纯度/%
Purity
99.8
密度/g/cm3
Density
≥2.31
≥2.41
晶粒度/μm
Grain size
≤100
金属杂质总和/ppm
Total content of metallic impurities
≤2000
规格尺寸/mm
Size
平面靶
Planar target
热等静压
Hot isostatic pressing
≤1000×250
旋转靶
Rotating target
热喷涂成形
thermal spraying
长度Length≤4000
厚度Thickness≤15
SiAl (90:10 wt%)
成分(elements)
硅(Si)
铝(Al)
铁(Fe)
铜(Cu)
锰(Mn)
碳(C)
钙(Ca)
氧(O)
氮(N)
测 试 值(wt%) (Test values)
90.19
9.66
≤0.074
0.002
0.04
≤0.04
密度(g/cm3)(Density)
2.36
SiAl (70:30 wt%)
70.81
28.93
≤0.071
≤0.05
2.42
公司生产的典型硅铝系列合金靶材包括:
Si10% Al90%; Si20% Al80%; Si30% Al70%;
Si33%Al67%; Si50%Al50%; Si70% Al30%;
Si80% Al20%; Si90% Al10%; Si95% Al5%;
硅铝合金靶材合金成分范围从 Si 含量 5%到 95%任意配比都可生产。可确保靶材纯度>99.9%,相对密度>99%,硅相尺寸<100 微米,品质可靠,配比和规格可根据您的要求定制。
铬铝合金靶材
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铬铝合金靶材是在硬质合金刀具等工具及热处理模具镀膜领域应用的一类新型靶材,可提高膜层的抗磨损能力和膜层的使用温度。
我司提供的典型铬铝系列合金靶材包括:
Cr50% Al50%; Cr30% Al70%; Cr25% Al75%等。
我司的铬铝靶材采用先进的热等静压工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶和大长径比整体成形管靶等类型,具有成分比例范围宽(铝含量为10at%~90at%)、纯度和密度高、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。铬铝靶材典型的成分比例有30:70at%、50:50at%等,也可按照客户要求定制Cr-Al-X(X=Si、Ti、Y、B、V)等特殊成分和规格靶材。
铬铝靶
Chromium-aluminum target
Product performance
Cr30Al70
Cr50Al50
≥3.73
≥4.55
Total content of metallic impurities
热导率/W/m.K
Thermal conductivity
150
120
≤1500×500
Rotating target
热等静压整体成形
Integral formingby HIP
长度Length≤2000
CrAl (40:60at%)
铬(Cr)
硫(S)
测 试 值(wt%) (Test values)
55.94
43.56
≤0.215
0.125
0.004
0.015
0.071
0.0026
4.15
CrAl (20:80at%)
32.45
67.34
0.051
0.142
/
0.029
0.124
0.032
3.35
CrAl (10:90wt%)
9.75
89.82
0.026
3.01
CrAl (15:85wt%)
14.75
84.82
2.98
CrAl (50:50at%)
65.68
34.14
0.025
0.062
0.009
0.0532
0.003
4.48
CrAl (80:20wt%)
79.75
19.81
0.126
0.014
3.1
铝钪靶
钪含量(重量比):8%──50%(按客户要求定制)
外形:圆形,方形(按客户要求定制)
尺寸:按客户要求定制
厚度:可按客户要求定制