热解氮化硼坩埚(PBN坩埚)
我们可以提供的热解氮化硼（PBN）产品有应用于砷化镓（GaAs）单晶的MBE坩埚、LEC坩埚、VGF坩埚、MOCVD设备用绝缘隔热板、合成用舟皿及热解氮化硼涂层产品等。
我们可以提供的热解氮化硼产品如下：
Ø 半导体单晶及III－V族化合物合成用的坩埚、基座
Ø 原位合成GaAs、InP、GaP单晶的LEC系列坩埚。
Ø 分子束外延用的MBE系列坩埚。
Ø VGF、VB法系列坩埚。
Ø PBN/PG复合加热器涂层。
Ø 石墨加热器绝缘涂层。
Ø 高温绝缘流体喷嘴。
Ø MOCVD绝缘板。
Ø 异形坩埚及异形石墨件涂层。
Ø 晶片退火工艺用复合加热器
类 型 | 类 别 | 最 大 尺 寸 |
坩埚类 | LEC | 14 inch |
VGF | 6 inch | |
MBE | 4 inch | |
舟形坩埚 | 3 inch |
板材类 | 圆形板材 | 14 inch |
绝缘板(MOCVD) ■主要参数: 性能 单位 数值 晶格常数 µm a:2.504×10-10 c:6.692×10-10 表观密度 g/cm3 2.07－2.19(板材) 2.09－2.19(坩锅) 氦透过率 cm3/s 1×10－10 显微硬度(Knoop)(ab平面) N/mm2 691.88 体积电阻系数 Ω·cm 3.11×1011 抗张强度 (力|| “C”) 153.86 抗弯强度 N/mm2 243.63 N/mm2 197.76 弹性模量 N/mm2 235690 热传导率 W/m·k “a”方向 “c”方向 (200℃) W/m·k 60 2.60 (900℃) W/m·k 43.70 2.80 介电强度(室温) KV/mm 56
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