X射线法是由俄国学者于1929年提出，经过多年发展，理论与实际测定方法都较为成熟，是目前应用
为广泛的一种无损残余应力测试方法。
1、原理
X 射线衍射法测量残余应力是基于X 射线衍射理论。当一束波长为λ 的X 射线照射在晶体表面时，会在特定的角度(2θ)上接收到X 射线反射光的波峰，这就是X 射线衍射现象。其中衍射角2θ与 X射线的波长λ、衍射晶面间距d之间遵从的布拉格定律：2dsinƟ=nλ. 。
式中，K 为弹性常数，当入射线的波长选定之后(λ 一定)，通过测定衍射角θ，即可由布拉格方程得到受力之后的晶面间距，继而得到相应的残余应力值。这里需要指出的是由于晶体是各向异性的，因此弹性常数K 和宏观意义上的弹性模量E 是不同的，需要根据所选择的衍射晶面来计算出弹性常数K。
1961 年德国学者Macherauch 结合弹性理论和布拉格方程提出了测二维残余应力的sin2ψ法：
根据ψ平面与测角仪2θ扫描平面的几何关系，分为同倾法与侧倾法两种测试方式，准检测工件表面应力。