大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价?检查。欢迎新老客户来电咨询!
彩色抗蚀剂(RGB)的薄膜厚度测量[FE - 0003]
液晶显示器的结构通常如右图所示。 CF在一个像素中具有RGB,并且它是非常精细的微小图案。 在CF膜形成方法中,主流是采用应用在玻璃的整个表面上涂覆基于颜料的彩色抗蚀剂,通过光刻对其进行曝光和显影,并且在每个RGB处仅留下图案化的部分的工艺。 在这种情况下,如果彩色抗蚀剂的厚度不恒定,将导致图案变形和作为滤色器导致颜色变化,因此管理膜厚度值很重要。
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测量示例:
SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚测量
半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径,有必要隔离晶体管,埋入绝缘膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于绝缘膜。 SiO 2用作绝缘膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介电常数的绝缘膜,OPTM设备,或是作为通过CMP去除SiO 2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。 为了绝缘膜的性能和精准的工艺控制,OPTM膜厚仪价格,有必要测量这些膜厚度。
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膜厚仪厂家解释凡其厚度与入射光波长相比拟的并能引起干涉现象(相干光程小于相干长度)的膜层为薄膜,其厚度远大于入射光波波长的膜层称之为厚膜。如今,微电子薄膜,光学薄膜,大塚OPTM,抗1氧化薄膜,OPTM,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用,在工业生产的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。
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