上海负性光刻胶 北京赛米莱德有限公司 负性光刻胶公司

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光刻胶的参数介绍

1.对比度(Contrast)

对比度指光刻胶从曝光区到非曝光区过渡的陡度。
对比度越好,越容易形成侧壁陡直的图形和较高的宽高比。

2.粘滞性/黏度 (Viscosity)

衡量光刻胶流动特性的参数。
黏度通常可以使用光刻胶中聚合物的固体含量来控制。
同一种光刻胶根据浓度不同可以有不同的黏度,而不同的黏度决定了该胶的不同的涂胶厚度。

3.抗蚀性(Anti-etching)

光刻胶必须保持它的粘附性,负性光刻胶哪家好,在后续的刻蚀工序中保护衬底表面。
耐热稳定性、抗刻蚀能力和抗离子轰击能力。
 

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光刻胶分类

根据化学反应机理和显影原理的不同,光刻胶可以分为负性胶和正性胶。
对某些溶剂可溶,但经曝光后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂不可溶,经曝光后变成可溶的为正性胶。

从需求端来看,光刻胶可分为半导体光刻胶、面板光刻胶和PCB光刻胶。
其中,上海负性光刻胶,半导体光刻胶的技术壁垒较高。

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硅片模具加工如何选择光刻胶呢?

注意事项:

①若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶;

②看光刻机型式,负性光刻胶供应商,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题

③负性胶价格成本低,负性光刻胶公司,正性胶较贵;

④工艺方面:负性胶能很好地获得单根线,而正性胶可获得孤立的洞和槽;

⑤健康方面:负性胶为有机溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,对健康、环境无害。

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发布时间
2020-07-26 13:22
所属行业
半导体材料
编号
23954209
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