分散剂种类和用量对氧化抛光液的悬浮性和再分散性影响很大。在对分散剂筛选过程中，抛光布原理，实验室自制的分散剂具有良好的使用效果，分散性好和无板结
现象。
随着氧化分散剂添加量增加。氧化浆液的沉降行为表现为水层体积分数逐渐减小，玻璃抛光布，分散层体积分数逐渐增大。沉淀层体积分数逐渐减小，吸光度不断
大，说明抛光液的悬浮性不断提高。
作用编辑①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域；②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出，达到去除效果；③维持抛光垫表面的抛光液薄膜， 以便化学反应充分进行；④保持抛光过程的平稳、表面不变形， 以便获得较好的晶片表面形貌；①硬度-抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力；②压缩比-压缩比反应抛光垫的抗变形能力；③涵养量-抛光垫的涵养量是单位体积的抛光垫存储抛光液的质量；④粗糙度-表面粗糙度是抛光垫表面的凸凹不平程度，；⑤密度-密度是抛光垫材料的致密程度；
抛光布材质分类：
真丝丝绒：长绒毛真丝料，钢铁，抛光布图片，高精密材料或铝、铜、镁等软材料抛光或精抛光;
植 绒：.短绒毛绵料，坚固耐用，常用于钢铁材料，抛光布，电子行业电路板，软金属的抛光 ;
帆 布：无绒毛绵料，使用于钢铁材料的粗抛光;
丝 绸：没有绒毛，使用于含有石墨或夹杂物等组织的抛光;
合成高分子材料(无绒毛)，多空性：.和金刚石、氧化铝、二氧化硅悬浮液配套使用，适用于多种材料(尤其是极软材料如钛、铜、银等)的后精抛光(尤其是机械/化学同时进行的抛光);
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