真空淬火炉是由加热炉罩和移动式底架组成的。方形（或圆形）炉罩顶装有起重机，通过链条和挂钩可将料筐吊至炉膛。炉罩由型钢支起，底部有气动（或电动）操作的炉门。位于炉罩下方的底架可沿轨道移动、定位，高压真空渗碳炉，底架上面载有淬火水槽和料筐。生产时，将底架上的料筐移至炉罩正下方，打开炉门，井式真空渗碳炉，放下链条及挂钩将料筐吊入炉膛，关闭炉门后进行加热。淬火是地，先将底架上的水槽移至炉罩正下方，然后打开炉门，放下链条，将料筐（工件）淬入水中。
同外热式的真空炉相比，内热式真空炉具有以下特点：
①炉子的热惯性小，加热速度快和冷却速度快，热效率和生产效率较高；
②无耐热炉罐，故可制作的炉膛不需受到限制，容量也不受限制，炉内可达到更高的温度；
③炉温的均匀性好，可达±5℃，因此工件受热均匀，零件的变形小；
④零件加热期间不需通入保护气体，提高了加热元件的使用寿命；
⑤炉内结构复杂，加热区受到一定的限制；
⑥炉体体积大，需要配备的真空系统容量要增大。
真空炉的工艺：
真空渗碳是将工件装入真空炉中，抽真空并加热，使炉内净化，达到渗碳温度后通入碳氢化合物(如丙烷)进行渗碳，真空渗碳炉，经过一定时间后切断渗碳剂，再抽真空进行扩散。这种方法可实现高温渗碳(1040℃)，真空渗碳炉配件，缩短渗碳时间。渗层中不出现内氧化，也不存在渗碳层表面的含碳量低於次层的问题，并可通过脉衝方式真空渗碳，使盲孔和小孔获得均匀渗碳层。
真空炉的真空热处理即真空技术与热处理两个专业相结合的综合技术，是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的。我国将真空划分为低、中、高和超高真空。
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