特别行政半导体衬底 半导体XRD测试电话

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广东省科学院半导体研究所
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半导体XRD测试——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,半导体衬底哪家好,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

设备介绍:

X射线/紫外光电子能谱仪(XPS/UPS)利用X射线(或者紫外线)照射样品激发出光电子,并通过检测和分析光电子动能大小与光电子信号强度的关系,确定样品中所含元素种类及其化学态。Nexsa具备XPS、UPS功能,可采用微聚焦小光斑(小10 μm)实现微区成像与成分分析,并具有深度剖析功能,可以检测分析块体、薄膜、粉末或器件等固体样品的元素组成、化学价态、价带、功函数等信息。




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没有它的粉晶射线图,但是有根据其单晶 X 射线衍射推算出来的晶胞参数,请问我怎么才能反推算出该晶体的粉晶衍射图?

  如果你有结构数据,就可以从理论上算出粉末衍射图的,半导体衬底费用,可以使用 Materials Studio 的 reflex plus 模块算出来;有原子坐标,特别行政半导体衬底,通过 diamond 也可以得到它的粉末 XRD 图。

  如何分析出其晶体结构而确定是我们预期的物质呢?

  如果能够在 ICDD 的粉末衍射数据库中找到你预期的物质的衍射据,做一个 XRD 鉴定即可确定。

  用 Jade5 软件可以进行 XRD 定量分析吗?

  XRD 定量分析的基础数据是样品中各组成物相的强度数据(原理上应该用峰的面积数据),余下的工作便是些乘除比例的运算了,使用表格软件(如 WPS Ofice 的"WPS 表格"、微软的 Excel)完成甚为方便。因此,使用任一能够获得峰面积或峰高的软件工具都可以进行 XRD定量分析,当然,有 Jade 软件更为方便。



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应用领域:

XPS因其独有的元素化学态识别功能,广泛应用于固体物理学、材料科学、基础化学、催化科学、腐蚀科学、微电子技术、半导体、新能源等各个领域的材料与器件的检测分析。

l 元素种类以及含量(半定量)

l 元素化学价态、化学键分析

l 元素浓度随深度分布

l 不同化学态的各种元素在表面分布成像

l 材料或器件的微区分析

l 薄层成分、膜层厚度以及界面结构、元素偏析迁移等信息

l 器件表面不同位置的镀层结构或污染来源

UPS广泛应用于物理化学、有机化学、表面物理、太阳能电池等各个领域的材料表面电子态的检测分析。

l 价电子能带谱

l 功函数



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发布时间
2022-09-26 13:32
所属行业
信息技术项目合作
编号
30385238
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