MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
在过去的几年中，各地的研究机构和大学已开始集中研究微观和纳米尺度现象、器件和系统。
微纳加工平台支持基础信息器件与系统等多领域、交叉学科，开展前沿信息科学研究和技术开发。作为校级开放共享服务平台，支撑的研究领域包括低维材料及新型器件、柔性电子器件、微流体、生物芯片、纳电子器件、新型存储器、微机电器件与系统（MEMS）等，以材料和工艺技术作为独具特色的主攻领域，鼓励研究人员独立操作科研设备，并提供共享物理空间促进学科交叉。平台致力于建设成为国际杰出的信息技术微纳加工环境，是一个“多目标”“开放式”的科研教学实验平台。
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微纳检测主要是表征检测：原子力显微镜、扫描电镜、扫声波扫描显微镜、白光干i涉仪、台阶仪等。
电铸是利用金属的电解沉积原理来精i确复i制某些复杂或特殊形状工件的特种加工方法。它通过在母模上沉积金属层的增材制造技术来制备微结构。这种加工法的复i制精度和重复精度高，适用范围广，可用于制造精密、复杂内型面零件。但因技术原理的限制，电铸铸层质量不稳定，镀膜微纳加工工厂，易出现麻点、晶粒粗大、应力过大等缺陷，致使铸层物理特性和力学性能下降，严重时零件需报废。模型加工法是利用微纳米尺寸的模具复i制出相应的微纳米结构。该方法主要适用于具有热塑性的材料，如高分子塑料，金属玻璃等。首先，将加热台上的热塑性材料与微模型加热到一定温度；热塑性材料因黏度降低软化后，对其施加一定的应力使其在微模型中进行充型流动；末尾微模型上的微纳米结构便成功转移到热塑性材料的表面上。
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微纳结构器件是系统重要的组成部分，其制造的质量、效率和成本直接影响着行业的发展。
基于掩模板图形传递的光刻工艺可制作宏观尺寸的微细结构，受光学衍射的极限，仅适用于微米以上尺度的微细结构制作，部分优化的光刻工艺可能具有亚微米的加工能力。例如，重庆镀膜微纳加工，接触式光刻的分辨率可能到达0.5μm，采用深紫外曝光光源可能实现0.1μm。但利用这种光刻技术实现宏观面积的纳米/亚微米图形结构的制作是可欲而不可求的。近年来，国内外比较多学者相继提出了超衍射极限光刻技术、周期减小光刻技术等，力求通过曝光光刻技术实现大面积的亚微米结构制作，但这类新型的光刻技术尚处于实验室研究阶段。
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