MEMS微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，浙江微纳加工代工，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
“纳米制造”路线图强调了未来纳米表面制造的发展。
MINAM的一个重要的战略研究议题就是在全欧洲范围内促进微纳技术的研究和开发，鉴定涌现出来的新趋势，对未来研发投资进行战略指导，以在微纳制造技术领域内实现欧洲可持续的领导地位。另外，MINAM还将在4个关键领域确定战略研究的优先级：纳米材料的制造、纳米表面的加工、微制造加工和集成的微纳制造系统/平台的开发。值得注意的是，微纳制造业是一个高度资金密集和知识密集产业，因此对于新技术的开发投资必须由风险投资者、高校研究组织和公共团体协作完成。
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微纳加工设备主要有：光刻、刻蚀、成膜、离子注入、晶圆键合等。
目前微纳制造领域较常用的一种微细加工技术是LIGA。这项技术由于可加工尺寸小、精度高，适合加工半导体材料，MEMS微纳加工代工，因而在半导体产业中得到普遍的应用，其较基础的中心技术是光刻，即曝光和刻蚀工艺。随着LIGA技术的发展，人们开发出了比较多种不同的曝光、刻蚀工艺，以满足不同精度尺寸、生产效率等的需求。LIGA技术经过多年的发展，工艺已经相当成熟，但是这项技术的基本原理决定了它必然会存在的一些缺陷，比如工艺过程复杂、制备环境要求高（比如需要净化间等）、设备投入大、生产成本高等。
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微成型模具的精密制造是成型高质量聚合物微制品的技术保证。
微纳制造技术一般是指微米、纳米级的材料、设计、制造、测量控制和产品的研发、加工、制造以及应用技术。微纳制造技术是继IT、生物技术之后，21世纪较具发展潜力的研究领域和新兴产业之一。微纳制造技术较早是由加工精度研究的角度延伸出来的。伴随着科技进步和制造业的快速发展，人们对加工精度的要求越来越高，传统加工方式的加工精度越来越难以满足诸多领域的应用和研究需求。这一需求促使人们投入到更高精度加工技术的研发上。从较初的毫米级（10-3m）到微米级（10-6m）和纳米级（10-9m），人类的制造水平逐步由宏观尺度向微观尺度迈进，“微纳制造技术”的概念也应运而生。
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