XRD掠入射（GIXRD）检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，XRD掠入射（GIXRD）检测实验室，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
X射线衍射仪
基本构成
(1)样品及样品位置取向的调整机构系统样品须是单晶、粉末、多晶或微晶的固体块。
(2)高稳定度X射线源提供测量所需的X射线，改变X射线管阳极靶材质可改变X射线的波长， 调节阳极电压可控制X射线源的强度。
(3)射线检测器 检测衍射强度或同时检测衍射方向，通过仪器测量记录系统或计算机处理系统可以得到多晶衍射图谱数据。
(4)衍射图的处理分析系统现代X射线衍射仪都附带安装有衍射图处理分析软件的计算机系统， 它们的特点是自动化和智能化。
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刚开始扣背底和平滑处理是否会把小峰直接去除；什么是三强风原则？测试本身是否会产生鼓包峰；有的人做出的origin 图xrd曲线显示晶格结构体心立方或者面心立方那个是如何判断的？
答：扣背景不会去除衍射峰，平滑处理会去除不明显的衍射峰。
所谓三强线是指比对纯物质强的三根衍射峰位置，如果三强线位置比对成功，一般而言可以初步判定该种物质的存在，XRD掠入射（GIXRD）检测测试，具体的说，三强线指得是PDF卡片上强的三个衍射峰的值。以NaCl为例，参考05-0628，强的三峰是：
200面：d= 2.82100 强度 100.0；
220面：d=1.99400 强度 55.0
222面：d=1.62800 强度 15.0
检索的时候，先看实验数据里有没有200晶面的衍射峰。如果有，XRD掠入射（GIXRD）检测机构，则继续找 220的，如果没有则不用再找了，这说明试样中不含有 NaCl。当这三个强峰都有的时候，北京XRD掠入射（GIXRD）检测，就是符合三强峰原则。
测试本身会产生鼓包峰，比如样品太少或者太薄，X射线打到样品台，就会出现鼓包峰。
某个人的Origin图中XRD谱线显示晶格结构，那是他自己通过定性之后手动标上去的。
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1）若样品为退火态粉末，此时无应变产生，衍射线宽化完全因样品晶粒尺寸过小导致的，此时应选择SIZE only。
2）若样品为合金块状样品 ，结晶完整且加工过程中没有破碎，此时，线性宽化是由微观应变引起的，选择Strain only。
3）如样品存在上述两种情况，则应选择size/strain。
注意
a.利用XRD进行晶粒大小计算时，前提是假定晶粒为“球形”，所以其测出来的粒径不是很可靠，结果总是小于SEM和TEM，但无法进行和TEM时，其结果仍具有一定的参考依据。
b.该方法获得的晶粒尺寸是平均晶粒尺寸，是不同晶面上各衍射方向晶粒度大均值，若需要计算某一晶面上的晶粒尺寸，可采用“计算峰面积”命令。
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