半导体XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
8.紧凑尤拉环测薄膜样品对薄膜样品尺寸的要求是什么呢
答：根据具体的尤拉环样品台的尺寸进行调整。
9.样品填充小尺寸是多少呢，有的样品槽很大？
答：装样品的时候没有小尺寸这种说法。如果样品量少，样品槽很大，尽量把样品装在样品槽的中心位置。
10.不同批次送样的是否会产生误差？（步长角度一样）是否要对比的样品同一批次送样好？
答：会有产生误差的可能。选择同一台仪器，并排除制样时的误差，半导体XRD检测报告，如果两批样品送样间隔较长，或者两批样品中间恰好X射线衍射仪进行了维护，那么这两批测出来的结果会存在差别。建议需要做比较的一组样品，好在同一时间送样测试，这样才具有可比性。
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11.多晶块体测出来的XRD谱和多晶粉末测出来的一样吗？
答：很有可能不一样。一般晶体结晶时，都有较强的方向性，特别是有比较多的化合物存在时，这时，扫出来的衍射峰会和标准峰相差较多。有些有取向性的材料，某些衍射峰会丢失。
12.涂层/薄膜的小角度掠入射XRD测试，入射角度一般和薄膜厚度怎么来经验匹配？
答：一般情况下，薄膜较薄的话，建议掠入射角度小一点，因为角度越大越容易击穿样品；薄膜较厚时，建议掠入射角度大一点，因为角度太小样品峰会太弱。实际情况还是得根据具体的样品测试来积累经验。
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在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，此法用射线计数仪直接记录射线的强度。单晶衍射仪有线性衍射仪、四圆衍射仪和韦森堡衍射仪等，其中以四圆衍射仪，为通用。所谓四圆是指晶体和计数器藉以调节方位的四个圆，分别称为φ圆、圆、w圆和2θ圆。φ圆是安装晶体的测角头转动的圆；圆是支撑测角头的垂直圆，半导体XRD检测分析，测角头可在此圆上运动；w圆是使圆绕垂直轴转动的圆，2θ圆与w圆共轴，计数器绕着这个轴转动。这四个圆中，w圆、φ圆和圆用于调节晶体的取向，使某一的晶面满足衍射条件，同时调节2θ圆，使衍射线进入计数器中。通常，四圆衍射仪配用电子计算机自动控制和记录，宁夏回族自治半导体XRD检测，可以测定晶格参数，并将衍射点的强度数据依次自动收集，简化了实验过程，而且大大提高了数据的度。因此，它已成为当前晶体结构分析中强有力的工具。
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