XRD小角度检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，上海XRD小角度检测，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
X射线发生器
X射线发生器由X射线管、高压发生器、管压和管流稳定电路以及保护电路等组成。这里着重介绍X射线管。X射线管的实质是个真空二极管，其阴极是钨丝，阳极为金属片。
在阴极两端加上电流之后，钨丝发热，XRD小角度检测平台，产生热辐射电子。这些电子在高压电场作用下被加速，轰击阳极(又称靶)，产生X射线(此过程产生大量热量，为了保护靶材，必须确保循环水系统工作正常)。
常见的阳极靶材有：Cr， Fe， Co， Ni， Cu， Mo， Ag， W，常用的是Cu靶。
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在做单晶X射线衍射（单晶XRD）测试时，工作人员在与很多同学沟通中了解到，好多同学对单晶XRD不太了解，针对此，相关同事对单晶xrd常见问答进行整理，希望可以帮助到科研圈的伙伴们；
1.怎么看独立可观测点和衍射点分别是多少？
答：可以在后缀是.abs文件中查看。
2.没有吸收校正文件，对后期发文章有影响吗？
答：这个不是必要提交文件，发文章主要提交cif， checkcif文件。
3.一般晶体长出来，在光学显微镜看，显微镜调到多少合适？
答：这个没有固定的，每个晶体大小不一样，XRD小角度检测测试，先调低倍，再慢慢往上调。
4.如果键长超出了该有的范围，会出现A类错误。不知道如何解释？
答：可以用指令DFIX，来限定原子间的距离。
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变温测定结构相变
还有些样品在某温度存在结构相变，通常这种结构相变会伴随物理性质的变化，为了证实材料是否具有结构相变，以及分析相变前后结构的变化，我们就需要选择变温XRD测试，它是研究原位结构相变的得力工具。
研究单晶薄膜
另外一些做单晶薄膜（也叫外延薄膜）相关研究的同学，在测试样品的时候就需要使用高分辨XRD，高分辨XRD通常配有平行光、单色器、欧拉环等附件，可以用来分析薄膜的物相、外延关系(通过Phi扫描)、结晶质量(摇摆曲线)、薄膜面内晶格和应变情况（需要使用倒易空间图reciprocal space mapping）等。
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