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XRD倒易空间(RSM)检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
关于XRD图谱
1)衍射线宽化的原因
用衍射仪测定衍射峰的宽化包括仪器宽化、试样本身引起的宽化。试样引起的宽化又包括晶块尺寸大小的影响、不均匀应变(微观应变)和堆积层错(在衍射峰的高角一侧引起长的尾巴)。后二个因素是由于试样晶体结构的不完整所造成的。
2)半高宽、样品宽化和仪器宽化
样品的衍射峰加宽可以用半高宽来表示,XRD倒易空间(RSM)检测价格,样品的半高宽FWHM是仪器加宽FW(I)和样品性质(晶块尺寸细化和微观应力存在)加宽FW(S)的卷积。为了求得样品加宽FW(S),必须建立一个仪器加宽FW(I)与衍射角θ之间的关系,也称为FWHM曲线。 该曲线可以通过测量一个标样的衍射谱来获得。标样应当与被测试样的结晶状态相同,标样必须是无应力且无晶块尺寸细化的样品,晶粒度在25μm以上,如NISTA60Si和LaB6等。
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x射线应力测定法优点和实际应用
优点
x射线应力测定法可以无损地测量构件中的应力或残余应力,特别适宜于测量薄层和裂纹的应力分布。是检验产品质量,研究材料强度,选用较佳工艺的一种重要手段。
实际应用测量
测定应力时,通常只要测量4~5个具有不同入射角(一般取0°、15°、30°45°、60°)的X射线的衍射角,作出 曲线,用Z小二乘法求出斜率,就可确定 。这就是用X射线测定应力的基本方法—— 法,其精度较高。此外,还有0°-45°法、单一倾斜法等。
曾经先后采用过照相法(由底片记录衍射环半径)和计数管法(由计数管记录衍射角,见图3),接收、记录X射线的衍射,如用电子计数器记录宽大衍射条纹的峰值强度位置时,可采用较的法和常用的半高法等。
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在做单晶X射线衍射(单晶XRD)测试时,工作人员在与很多同学沟通中了解到,XRD倒易空间(RSM)检测多少钱,好多同学对单晶XRD不太了解,针对此,相关同事对单晶xrd常见问答进行整理,XRD倒易空间(RSM)检测测试,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;
1.怎么看独立可观测点和衍射点分别是多少?
答:可以在后缀是.abs文件中查看。
2.没有吸收校正文件,对后期发文章有影响吗?
答:这个不是必要提交文件,发文章主要提交cif, checkcif文件。
3.一般晶体长出来,在光学显微镜看,显微镜调到多少合适?
答:这个没有固定的,每个晶体大小不一样,先调低倍,再慢慢往上调。
4.如果键长超出了该有的范围,会出现A类错误。不知道如何解释?
答:可以用指令DFIX,来限定原子间的距离。
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