山东单晶XRD检测 半导体薄膜测试机构

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单晶XRD检测半导体XRD检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


XRD测试是可以测量块状和粉末状的样品,对于不同的样品尺寸和样品性质有不同的要求,下面是总结出来对测量块状和粉末状的样品的要求:

1)、金属样品如块状、板状、圆拄状要求磨成一个平面,面积不小于10X10毫米,如果面积太小可以用几块粘贴一起。

2)、对于片状、圆拄状样品会存在严重的择优取向,衍射强度异常。因此要求测试时合理选择响应的方向平面。

3)、对于测量金属样品的微观应力(晶格畸变),测量残余奥氏体,要求样品不能简单粗磨,要求制备成金相样品,并进行普通抛光或电解抛光,消除表面应变层。

4)、粉末样品要求在3克左右,如果太少也需5毫克。要求磨成320目的粒度,约40微米。粒度粗大衍射强度底,峰形不好,分辨率低。要了解样品的物理化学性质,如是否,易潮解,单晶XRD检测价格,易腐蚀、有毒、易挥发。

5)、对于不同基体的薄膜样品,单晶XRD检测费用多少,要了解检验确定基片的取向,X射线测量的膜厚度约20个纳米。

6)、对于纤维样品的测试应该提出测试纤维的照射方向,是平行照射还是垂直照射,因为取向不同衍射强度也不相同。

7)、对于焊接材料,如断口、焊缝表面的衍射分析,要求断口相对平整。




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制作试片的技巧

压片法:粉末均匀撒入样品池——用小刀剁实压紧——刮去多余凸出的粉末

涂片法:粉末撒在25mm*35mm*1mm的载玻片上——滴上足量的或酒精(假如试样在其中不溶解)——待/酒精挥发

两种制备几乎无择优取向试片的方法:(塑合法)(喷雾法)




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运动学衍射理论

Darwin的理论称为X射线衍射运动学理论。该理论把衍射现象作为三维Frannhofer衍射问题来处理,认为晶体的每个体积元的散射与其它体积元的散射无关,而且散射线通过晶体时不会再被散射。虽然这样处理可以得出足够的衍射方向,单晶XRD检测哪家好,也能得出衍射强度,但运动学理论的根本性假设并不完全合理。因为散射线在晶体内一定会被再次散射,除了与原射线相结合外,散射线之间也能相互结合。Darwin不久以后就认识到这点,并在他的理论中作出了多重散射修正。






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2022-11-27 12:58
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